0,13 Mikrometer Herstellungsprozess?

Kleine allgemeine Frage:

Es gibt jetzt den 0,13 Mikrometer Herstellungsprozess (also 130nm) bei verschiedenen Prozzis.

Was bedeutet das eigentlich, d.h. was ist da 130nm groß?

Die Leiterbahnenbreite, die Transistoren oder was ....

Bitte, wenn das wer etwas genauer weiß - muß aber nicht gleich eine Diplomarbeit sein.
Mich interessiert halt nur um was da eigentlich geht, weil ja alle groß davon reden (und schreiben).
Dank im vorraus!

UND geht schwer

strukturbreite - also leiterbahnen bzw. der abstand zwischen ihnen.